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Ti(NMe2)4 (TDMAT)

中文名称四(二甲氨基)钛
CAS号3275-24-9
分子式C8H24N4Ti
分子量224.17

常见用途:一种对水气敏感的淡黄色液体; 用于ALD/MOCVD,制备TiO2、TiN、TiSx等薄膜,广泛应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化等领域。


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