产品详情

Ti(NEt2)4 (TDEAT)

中文名称四(乙氨基)钛(IV)
CAS号4419-47-0
分子式C16H40N4Ti
分子量336.38

常见用途:一种对水氧敏感的黄色液体; 用于ALD/MOCVD,制备TiO2、TiN薄膜,应用于动态随机存取存储器、Cu扩散屏障、CMOS金属栅材料、场效应晶体管、催化、自组装单分子层(SAMs)等领域。


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