产品详情
Ta(NtBu)(NMeEt)3 (TBTEMT)
| 中文名称 | (叔丁基酰亚胺)三(乙基甲基氨基)钽(V) |
| CAS号 | 511292-99-2 |
| 分子式 | C13H33N4Ta |
| 分子量 | 426.38 |
常见用途：一种对水敏感的黄色液体；用于ALD/MOCVD，制备Ta2O5、TaNx、TaNxCy等薄膜，广泛应用在微电子领域中铜扩散阻挡层、电容器、存储器、能源电池、光催化等领域。
您有任何问题或需要请联系我们，我们期待您的来电！
Ta(NtBu)(NMeEt)3 (TBTEMT)
| 中文名称 | (叔丁基酰亚胺)三(乙基甲基氨基)钽(V) |
| CAS号 | 511292-99-2 |
| 分子式 | C13H33N4Ta |
| 分子量 | 426.38 |
常见用途：一种对水敏感的黄色液体；用于ALD/MOCVD，制备Ta2O5、TaNx、TaNxCy等薄膜，广泛应用在微电子领域中铜扩散阻挡层、电容器、存储器、能源电池、光催化等领域。
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