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Tetraethoxysilane (TEOS)

中文名称硅酸四乙酯
CAS号78-10-4
分子式C8H20O4Si
分子量208.33

常见用途:一种带有像酒精气味的无色液体,可在低温下实现SiO2薄膜的ALD前驱体源,其薄膜是一种重要的无机材料,被广泛应用于表面钝化保护膜、绝缘层、杂质扩散掩膜以及半导体元件的表面封装等


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